| Clean Room หรือ "ห้องสะอาด" ถูกนำมาใช้ครั้งแรกในปี คศ.1961 โดย Willis Whitfield ห้องสะอาด หมายถึง ห้องที่มีการปิดมิดชิด มีการควบคุมมลสารในอากาศให้น้อยที่สุด เพื่อให้มีความสะอาดเป็นไปตามระดับมาตราฐานความสะอาด และมีการควบคุมสภาวะแวดล้อม เช่น อุณหภูมิ ความชื้น และความแตกต่างของความดันตามที่ต้องการ โดยทั่วไปมลสารหรืออนุภาคในอากาศ ประกอบด้วยอนุภาคที่มีชีวิต (เชื้อจุลชีพต่างๆ) และอนุภาคที่ไม่มีชีวิต (ผง ฝุ่น) ห้องสะอาดทางชีววิทยา อุตสาหกรรมยาหรือโรงพยาบาล จะเน้นการควบคุมหรือป้องกันพวกเชื้อจุลชีพ ส่วนห้องสะอาดสำหรับอุตสาหกรรมอิเล็คทรอนิคที่ต้องการความสะอาดมาก จะเน้นควบคุมทั้งอนุภาคที่มีชีวิตและไม่มีชีวิต เครื่องมือสำคัญในการควบคุมปริมาณอนุภาคใน Clean Room คือ แผ่นกรองอากาศชนิด HEPA (High Efficiency Particulate Air) ซึ่งสามารถกรองอนุภาคที่มีขนาด 0.3 ไมครอน ได้มีประสิทธิภาพถุง 99.97% |